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Integrated Dynamics Engineering GmbH

ブース番号: 1609-4

www.ideworld.com
info@ideworld.com

当社について

IDE- 除振システム、ウェハー搬送、外乱磁場変動キャンセラーのテクノロジーリーダー
IDEはアクティブおよびパッシブ除振、アクティブ磁場補正、遮音等の環境制御システムを開発・製造する、世界的マーケットリーダーです。IDEのソリューションは、リソグラフィ、計測、研究、医療技術における厳しい状況への適用でも、効果が立証されています。

さらにIDEは、ウェハー、マスク搬送用ロボット、カスタマイズツールプラットフォーム、半導体OEM用EFEMの大手サプライヤーでもあります。IDEの製品ポートフォリオは、計量・計測の主力分野への、広範なソリューションを展開します。

20年以上の経験が、ソリューションプロバイダーとしてのIDEの信頼性と能力を示します。IDEは適用状況ごとのニーズに応じて環境を分析し、確実な診断を提供し、理想的ソリューションを提案します。



製品

除振システム
IDEは除振システムの第一人者です。世界各地で多数のシステムが設置され、先端技術を年々開発して、アクティブおよびパッシブ除振システムのグローバルな技術リーダーの地位を保持しています。IDEの製品ポートフォリオは次のように、あらゆる分野を網羅します。

パッシブ除振モジュール
セルフレべリングを含むセミアクティブ除振モジュール
ソフトマウントまたはハードマウントレイアウトにおける、アクティブ除振モジュール
最先端のフロアフィードフォワード、ステージフィードフォワード制御

外乱磁場変動キャンセラー
IDEの最新のMK5システムは強力な外乱磁場減衰を実現します。強固で汎用性の高いセンサー設計、広帯域周波数領域、低いノイズレベルにより、あらゆる分野での応用に最適なソリューションとなります。

ATAN - Active Vibration Isolation System

ATAN - Active Vibration Isolation System

Active Vibration Isolation Modules supporting the highest throughput and productivity requirements for optical and e-beam inspection and metrology equipment.

www.ideworld.com/semiconductor_equipment_manufacture...

Baladi - Semi-active and full active vibration isolation solution

Baladi - Semi-active and full active vibration isolation solution

Baladi supports mid-range and high-end semiconductor manufacturing equipment with their needs of high productivity, fast settling time and lowest vibration levels. The new Baladi product range closes that gap between classic passive air-spring isolation and state of the art active vibration isolation.

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MK5 - SEM・TEM顕微鏡用アクティブ磁場キャンセラー

MK5 - SEM・TEM顕微鏡用アクティブ磁場キャンセラー

- 市場で最も強力な外乱磁場減衰(最大 -55デシベル)
- 総合的な性能診断による、優れた信頼性
- 高性能のオートチューニングとタッチスクリーン制御で簡単操作
- 厳しい状況での適用や強度の妨害に広く対応
- コンパクトな設計と許容磁場の広さにより、センサー配置を柔軟に設置可能

www.ideworld.com/emi_cancellation.html

コンタクト

住所
Integrated Dynamics Engineering GmbH
Hermannstr. 9 – 13
65479 Raunheim
Germany

電話: +49 6142 94000

Dr. Jin Bereder-Wu
Director of Sales and Business Development Asia
電話: +81 70 42049900
jin.bereder-wu@ideworld.com


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